한양대학교 신소재공학부 박진성 교수 연구팀이 원자층 증착법을 통해 3차원 집적 공정이 가능한 ‘초고이동도 유사 단결정 산화물 반도체 소재’를 개발했다고, 한양대가 12일 밝혔다.최근 반도체·디스플레이 산업에서는 작은 면적에 최대한 많은 소자를 집적하는 공정에 대한 연구와 개발이 활발히 이루어지고 있다. 하지만 실리콘 반도체를 기반으로 한 2차원적인 집적은 한계에 도달했으며, 고 집적도에 따른 소비전력 증가 문제가 발생하고 있다. 이에 따라 누설전류가 낮으면서도 3차원적 집적이 가능한 차세대 반도체 소재 개발이 요구되고 있다.현재는